解決方案
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對於半導體產業而言,Everflon™ 氟聚合物具有多種特性,使其成為該產業不可或缺的材料。它們與製程中使用的所有化學試劑都具有極佳的相容性,並且在用於過濾器以維持極潔淨的環境以及半導體加工設備(濕式加工設備、流體輸送系統和晶圓處理工具)時,具有極高的油水排斥性。
半導體產業依賴精密工藝,對生產環境的潔淨度要求極高,因為其對污染的容忍度極低。因此,使用有助於最大限度減少污染的材料至關重要。正因如此,半導體產業一直依賴 Everflon™ 氟聚合物來製造濕式加工設備、流體輸送系統和晶圓處理工具。在製程的流體處理環節,Everflon™ 氟聚合物被用作超純型,其浸出物含量極低,能夠承受蝕刻製程中使用的強腐蝕性化學物質。減少顆粒物、金屬污染物以及密封件劣化導致的氣體逸出造成的污染是半導體製造商的主要目標。
高純度 Everflon™ PFA 也用於維持製造過程中所用液體的超純狀態。它能夠製造更大尺寸的晶圓,從而提高半導體製造的良率,進而生產出性能更優、價格更實惠的微晶片和 LED。
Everflon™ 氟聚合物樹脂和塗層確保通訊設備(例如基地台、電纜)達到 5G 所需的速度、容量和低延遲。 Everflon™ 氟聚合物還可用於蝕刻設備的密封件以及光刻製程中光掩模的保護膜。
無
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